Z轴(纵向):±160μm
X轴(横向):12.5mm
Y轴(可选方向):4.0mm
分辨率
Z轴:0.01μm(±20μm范围内),0.08μm(±160μm范围内)
X轴:0.1mm单位可调
支持标准:JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、DIN-1990、ASME-1995、CNOMO
基础参数:Ra(算术平均粗糙度)、Rz(最大高度粗糙度)、Rq(均方根粗糙度)等34种参数。
Motif参数:RSm(平均轮廓间隔)、Rk(核心粗糙度深度)、Rpk(峰值高度)等。
波纹度参数:W(波纹度)、Wx(X方向波纹度)、AW(算术平均波纹度)等。